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据TE🏋CHCET测算,堆叠层数升级后,单片🍑💮晶圆的六氟😽化钨消耗量增🌟长了约37。

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相比于钨,钼在纳米尺度下的🛁电阻率仅为钨的六成左右🔖,能够大幅降低功👄🇦🇬。

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